在离子注入工艺中,有一道工艺是”沟道器件轻掺杂源(漏)区”,其目的是减小电场峰植和热电子效应!

在离子注入工艺中,有一道工艺是”沟道器件轻掺杂源(漏)区”,其目的是减小电场峰植和热电子效应!其具体原理是什么!请大家帮忙回答下

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推荐答案 2007-07-06

注极体效应，就是靠掺杂度源漏极电区便薄，当有电压加到源漏两端时，来抵消电场的。

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