66问答网
所有问题
当前搜索:
什么是离子注入
什么是离子注入
离子注入的优点和缺点
答:
什么是离子注入?
其实离子注入是一种专业的技术过程
,它涉及到将带电离子引入固体材料内部,并且从而改变材料的物理和化学性质,可以说这种技术广泛应用于材料科学、半导体工业以及微电子学等领域,用于改善材料的性能或实现特定的功能,下面就一起去看看离子注入的优点和缺点吧!什么是离子注入 首先我们从物理...
什么是离子注入
?什么是离子注入机?
答:
离子源是离子注入机的主要部位
,作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子,决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子,当外来电子的能量高于原子的电离电位时,通过碰撞使元素发生电离。碰撞后除了原始电子外,还出现正电子和二次电子。正离子进入质量分析器选出需要...
什么是离子注入
?
答:
离化后的原子在强电场的加速作用下,注射进入靶材料的表层
,以改变这种材料表层的物理或化学性质,实现半导体定域、定量掺杂的一种工艺方法。
半导体材料中,
离子注入
与离子掺杂有
什么
区别?
答:
离子注入是离子参杂的一种
。随着VLSI器件的发展,到了70年代,器件尺寸不断减小,结深降到1um以下,扩散技术有些力不从心。在这种情况下,离子注入技术比较好的发挥其优势。目前,结深小于1um的平面工艺,基本都采用离子注入技术完成掺杂。离子注入技术已经成为VLSI生产中不可缺少的掺杂工艺。………离子...
离子注入
的具体原理是
什么
答:
离子注入的具体原理是将所注入的气体离子化成为带正电荷的离子束
。对离子束用磁场进行筛选后,得到所需要的注入离子,再加速撞击到注入表面,达到注入离子的目的。在这过程中,需要控制好真空度,一般需要超高真空。另外,需要控制好加速能量和注入角度,以控制注入的深浅程度。整个系统需要有精确的电流测量和...
将
离子注入
引入表面涂层是
什么
意思 离子注入机的作用
答:
离子注入机的核心部位是离子源。离子注入机是一种用于将离子注入到材料中的设备,它由多个子系统和核心零部件组成,以实现其功能。离子源作为离子注入机的核心部件,其作用是通过电离气体或蒸发材料产生等离子体,从而产生所需的离子束。这一过程
是离子注入
机工作的基础,决定了要注入的离子种类和束流强度...
离子注入
的具体原理是
什么
答:
简单说,
就是将所注入的气体离子化成为带正电荷的离子束
。对离子束用磁场进行筛选后,得到所需要的注入离子,再加速撞击到注入表面,达到注入离子的目的。在这过程中,需要控制好真空度,一般需要超高真空。另外,需要控制好加速能量和注入角度,以控制注入的深浅程度。整个系统需要有精确的电流测量和计算,...
什么叫
半导体掺杂技术
答:
半导体的常用掺杂技术主要有两种,即高扩散和
离子注入
。掺入的杂质主要有两类,第一类是提供载流子的受主杂质或施主杂质,第二类是产生复合中心的重金属杂质。热扩散技术是对于施主或受主杂质的掺入,就需要进行较高温度的热扩散。为了让晶体中产生出大量的晶格空位,所以,就必须对晶体加热,让晶体原子的...
半导体材料中,
离子注入
与离子掺杂有
什么
区别
答:
离子掺杂应该就是通过离子注入工艺来实现的包括施主杂质或受主杂质的掺杂,掺杂方式还有扩散掺杂,不过精确度不高而且掺杂时间过长,大部分的半导体或面板等行业
都是离子注入
方式。离子注入的优点有1.纯度高:离子是通过磁分析器选出来的;2.均匀度好:同一平面均匀度一般可保证在±3%;3.能够精确控制注入...
什么是
半导体
离子注入
技术?
答:
半导体
离子注入
技术是一种材料表面改性高新技术,在半导体材料掺杂,金属、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上获得了极为广泛的应用,在当代制造大规模集成电路中,可以说是一种必不可少的手段。基本原理:用能量为100keV量级的离子束入射到材料中去,离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理的和化学的...
1
2
3
4
5
6
7
涓嬩竴椤
其他人还搜
什么叫粒子植入
离子注入机设备排名
离子注入的目的
P离子注入
中科信 离子注入机
国内离子注入机龙头企业
离子注入物理过程
离子注入Ge
半导体哪些步骤会有离子注入