三省六部制是西汉以后长期发展形成，中书省和尚书省是两汉时期基本形成，东汉废除中书省，只设尚书省，三国时恢复中书省，门下省是晋朝首先建立的，南北朝依然沿袭，晋朝时期三省制度基本建立起来，隋朝进一步完善。
尚书省形成于东汉(时称尚书台)；中书省和门下省形成于三国时，目的在于分割和限制尚书省的权力。在发展过程中，组织形式和权力各有演变。至隋，才整齐划一为三省。隋唐中书省的长官为中书令(隋称内史令)。门下省的长官为侍中（隋称纳言）。中书、门下二省都设在宫内，所以又有谏诤之责，以匡正皇帝的过失。尚书省设在宫外，长官为尚书令，实际不任命，由副长官左、右仆射代行职权 。
基本上是隋朝系统归了三省六部，唐朝进一步完善了这个制度。三省六部制的特点在于分散了丞相及中央机构的权力，把相权“一分为三”，互相牵制和监督,提高诀策正确性；同时，又将尚书省权分六部，即限制了地方割据势力的产生和发展又推动部门牵制与机构运转，加强了皇权。
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