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    • 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中，通常()的刻蚀选择比较高，()的刻蚀通常是各向异性。

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    推荐答案   2023-04-19
    【答案】：湿法刻蚀 干法刻蚀
    解析：湿法刻蚀工艺的优点是设备简单，刻蚀速率高，选择性高。但是，有许多缺点。湿蚀刻通常是各向同性的，干法蚀刻的成本更低。干法蚀刻的一个例子是等离子体蚀刻。干法蚀刻技术的特点是它们具有较高的各向异性
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