表面粗糙度可以通过使用粗糙度测量仪器来进行测量。
常用的测量方法主要分为接触式测量和非接触式测量。这两种方法都可以提供表面粗糙度的数值和图像表示。
一、接触式测量粗糙度：
接触式测量粗糙度是通过机械探针与被测物体表面接触来进行测量的。当机械探针接触到被测表面时，测量系统会记录下机械探针的运动轨迹和力的变化。通过测量探针在表面上的运动和受到的力的变化，可以计算出表面的形貌参数。测量原理中的关键是探针与被测表面的接触和运动，因此需要保证探针的稳定性和精确性。
优点：设备成本相对较低。
缺点：探针维修和更换的成本高；测量速率较慢、精度较低；对测量物体有损伤；对被测材料有要求，软质材料、尖锐产品难以测量。
二、非接触式测量粗糙度：
非接触测量粗糙度一般采用光学的原理。比如：白光干涉仪利用光干涉的原理，获取物体表面信息，是一种精密测量仪器，能对物体的表面粗糙度进行高精度测量。白光干涉仪的测量精度很高，精度可以达到亚纳米级别。以大量程、高精度的高速压电陶瓷单元驱动的白光干涉仪精度高达0.03nm，扫描速度高达400μm/s。它应用的行业很广泛，可应用于新能源、半导体、精密加工、精密光学、航空航天、3C产品、材料、液晶等领域。
优点：测量速率较快、精度较高；对测量物体无损伤；对材料无要求，软质材料和尖锐产品也可测量。
缺点：设备成本相对较高。
综上所述，表面粗糙度的测量需要根据实际测量情况和需求来选择合适的测量方法。
1.二维粗糙度评定
在常规工业加工领域中，Ra是常用的表面粗糙度评定参数，其定义为在取样长度L内，轮廓偏距的绝对值的算术平均值。
2.三维粗糙度评定
随着工业制造越来越精密化，特别是半导体和3C电子行业，传统的粗糙度评定为二维参数评定，评定的时候在一条线上进行评定，不能够完整地反映整个表面的全部信息，无法满足行业发展需求。
表面形貌的三维评定方法是利用区域表面获得所需要的相关信息，给出表面形成机理信息和研究表面的直观图像，三维评定从整体上对零件表面特征进行描述，具有全局性。Sa为常用的三维表面粗糙度评定参数。
Sa为表面算术平均高度，指轮廓表面内的点与中心面距离的算术平均或几何平均值，在取样区域D上，被测量的轮廓面和建立的基准面之间的z坐标距离的算术平均，即表面粗糙度曲面方程z坐标绝对值的算术平均，数学表达式如下。
表面粗糙度测量方案
SJ5760-R大量程粗糙度测量仪
轴承钢球的表面粗糙度测量
SJ5730高精度粗糙度轮廓测量仪
圆锥滚子轴承表面微观轮廓Pt及粗糙度测
SuperView W1光学3D表面轮廓仪
硅晶圆粗糙度测量
蓝宝石粗糙度测量
取样长度内轮廓上点基准线距离 （偏距）绝对值算术平均值 。
实际测量n有效数测量次数越多Ra越准确，Ra越大表面越粗糙。
（2）微观平度十点高度Rz
取样长度l内被测表面5大轮廓峰高平均值与5大轮廓谷深平均值之和，
Rz和Ra比较测点少故Ra更客观反映工件表面实际情况。
（3）轮廓大高度Ry
取样长度内轮廓高峰和轮廓低谷之间距离。
表面粗糙度(surface roughness)是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度 。其两波峰或两波谷之间的距离（波距）很小（在1mm以下），它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小，则表面越光滑。
表面粗糙度一般是由所采用的加工方法和其他因素所形成的，例如加工过程中刀具与零件表面间的摩擦、切屑分离时表面层金属的塑性变形以及工艺系统中的高频振动等。由于加工方法和工件材料的不同，被加工表面留下痕迹的深浅、疏密、形状和纹理都有差别。