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sem电镜中哪种电子成像的分辨率最高
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推荐答案 2023-12-09
二次电子。
二次电子分辨率最高是因为二次电子能量低,仅在样品表面5到10纳米的深度内才能在表面显像。能量小于50eV电子统称为二次电子,是sem电镜中入射电子与样品相互作用后,使样品原子较外层电子电离产生的电子。sem电镜中共有二次电子,背散射电子像,吸收电子像,透射电子像四中电子成像。
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