sem电镜中哪种电子成像的分辨率最高

Question

如题所述

Answer 1

二次电子。
二次电子分辨率最高是因为二次电子能量低，仅在样品表面5到10纳米的深度内才能在表面显像。能量小于50eV电子统称为二次电子，是sem电镜中入射电子与样品相互作用后，使样品原子较外层电子电离产生的电子。sem电镜中共有二次电子，背散射电子像，吸收电子像，透射电子像四中电子成像。