SEMï¼å
¨ç§°ä¸º
æ«æçµåæ¾å¾®éï¼å称
æ«æçµéï¼è±æåScanning Electronic Microscopy. TEMï¼å
¨ç§°ä¸º
éå°çµåæ¾å¾®éï¼å称éå°çµéï¼è±æåTransmission Electron Microscope.
åºå«ï¼
SEMçæ ·åä¸è¢«æ¿ååºæ¥çäºæ¬¡çµååèæ£å°çµå被æ¶éèæå. TEMå¯ä»¥è¡¨å¾æ ·åçè´¨å衬度ï¼ä¹å¯ä»¥è¡¨å¾æ ·åçå
é¨æ¶æ ¼ç»æãTEMçå辨çæ¯SEMè¦é«ä¸äºã
SEMæ ·åè¦æ±ä¸ç®ä¸¥èï¼èTEMæ ·åè§å¯çé¨åå¿
é¡»åèå°100nmå度以ä¸ï¼ä¸è¬åæç´å¾3mmççï¼ç¶åå»å离ååèï¼æåå·ï¼æè
æå度为20~40μmæè
æ´å°çèåºè¦æ±ï¼ã
TEMå¯ä»¥æ å®
æ¶æ ¼å¸¸æ°ï¼ä»èç¡®å®ç©ç¸ç»æï¼SEM主è¦å¯ä»¥æ å®æä¸å¤çå
ç´ å«éï¼ä½æ æ³åç¡®æµå®ç»æã