二次电子像的衬度和背散射电子像的衬度有何特点

Question

如题所述

Answer 1

二次电子成像一般是扫描电镜最基本的配置，图像主要反映表面几何形貌的反差信息，同时也有一定程度的原子序数反差信息，但以几何形貌反差为主.二次电子出射深度和范围主要和电子束斑直径有关，所以可以实现高分辨形貌观察。
背散射电子成像一般是选配，背散射探测器不像二次电子探测器基本上是一种，而是有几种选择，效果有不小差异，价格也有差别。背散射电子图像主要反映样品表面一定厚度范围内密度反差（和平均原子序数有关，因此也称作原子序数反差或者成分反差），由于背散射电子产额也与表面几何形貌有一定函数关系，因此页有一定程度的形貌反差，但以平均原子序数反差为主。由于背散射电子出射深度和作用区的大小有关，因此一般作用区的尺寸相比电子束斑大的多，因此背散射电子信号的空间分辨率相对SE信号要低的多。
在双信号成像扫描电镜中，可以同时采集SE图像和BSE图像，双屏同时显示，以精确比较。 也可以信号混合形成更加精确地形貌和平均原子序数反差图像。

参考资料：扫描电镜信号原理http://coxem2010.blog.163.com/blog/static/165103757201091601458330/

Answer 2

仅供参考
背散射电子像的衬度要比二次电子像的衬度大，二次电子一般用于形貌分析，背散射电子一般用于区别不同的相。
二次电子像：
1）凸出的尖棱，小粒子以及比较陡的斜面处二次电子产额较多，在荧光屏上这部分的亮度较大。
2）平面上的二次电子产额较小，亮度较低。
3）在深的凹槽底部尽管能产生较多二次电子，使其不易被控制到，因此相应衬度也较暗。
背散射电子像：
1）用背散射电子进行形貌分析时，其分辨率远比二次电子像低。
2）背散射电子能量高，以直线轨迹逸出样品表面，对于背向检测器的样品表面，因检测器无法收集到背散射电子而变成一片阴影，因此，其图象衬度很强，衬度太大会失去细节的层次，不利于分析。因此，背散射电子形貌分析效果远不及二次电子，故一般不用背散射电子信号。本回答被提问者和网友采纳