电容式传感器的种类有多种，对各种不同类型的电容传感器检测精度有影响的方式也不相同。
差动式电容传感器由于在结构上不完全相同，其差动电容的变化量不能对应检测介质的作用力呈线性关系，这就会造成检测的精度误差，但这种情况是几乎不会遇到，因为厂家在出厂检验时就会发现，并且不会给予出厂；同时，检测膜片的表面被沾染的结垢物也会影响到其检测的精度误差，不过这个可以通过清洗给予消除。
极片式电容传感器因其极片之间的被测介质的导电状态发生变化后，其检测的精度误差也会增大，但这个问题可以通过检测被测介质的导电率后给予修正；在对不同导电率介质的测量，如果没有给予修正也会造成检测误差，这需要根据被测介质的导电系数进行修正。
超量程的检测是肯定不会得到准确的检测参数，目前智能的传感器都是可以自己设置测量范围，通过准确的设定使测量范围大于实际最大被测量的三分之一是可以避免检测精度误差。
转换电路的老化、参数变异也会造成电容传感器的检测精度误差，这需要进行标定检验。如果无法进行校正，只能降级或报废。
电容传感器的信号输出电缆必须作屏蔽，屏蔽掉空间杂散的电磁干扰，尤其是与计算机连接的信号电缆，对检测传送信号的保护屏蔽是非常重要的一项措施。这里要注意，屏蔽只能是一点接地，多点接地不但无效，而且会引入更多的杂乱电磁波，引起检测精度误差。