为了提高变极距式电容传感器的线性度，可以从以下几个方面入手:
合理选择材料：选择合适的材料对于减小传感器误差非常重要。例如，选用电容系数稳定、精度高的介质材料可以提高传感器的准确性和稳定性。
完善设备结构：通过优化传感器的结构设计，如通风孔分布的设计、电极间距的选择和多点电极的布置等，可以进一步提高传感器的线性度和灵敏度。
提高制造精度：通过提高制造工艺精度，如压倒式的金属挤出工艺或定制化的组装工序，可以显著减少传感器的偏差和漂移。
减少环境干扰：在使用变极距式电容传感器过程中，需要保证传感器工作环境的稳定性，尽量减少外部干扰的影响。
综上所述，提高变极距式电容传感器的线性度需要在传感器材料、结构、制造和使用方面综合考虑。