电子束入射固体样品表面激发的信号是:特征X射线、二次电子、吸收电子、透射电子、背散射电子、俄歇电子。
原子中核外电子对入射电子的散射作用毕迟是属于非弹性散射过程。在散射过程中入射电子所损失的能量部分转变为热,部分使物质中原子发生电离或形成自由载流子(在半导体情况下),并伴随着产生各种有用信息,如:二次电子、俄歇电子、特征X射线、特征能量损失电子、阴极发光、电子感生电导等。
背向散射电子:
背射电子是指被固体样品原子反射回来的一部分入射电子,其能量与入射电子相当。其中包括弹性背反射电子和非弹性背反射电子。X射线:当内层电子被击出后,外层电子掉入内层电子轨道而发出X射线,由此可分析元素成分。X射线一般在试样的500nm到5mm深处发出。阴极发光:当电子束产生的电子一空穴对再结合时,会放出长波能量。
二次电子的介绍:
二次电子指背入射电子轰击出来的核外电子。由于原子核和外层价电子间的结合能很小,当原子的核外电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量后,可脱离原子成为自由电子。
如果这种散射过程发生在比较接近样品表层处,那些能量大于材料逸出功的自由电子可从样品表面逸出,变成真空中的自由电子,即二次电子。
二次电子来自表面5到10nm的区域,能量为50eV。它对试样表面状态非常敏感,能有效地显示试样表面的微观形貌。由于它发自试样表层,入射手冲李电子还没有被多次反判悔射,因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没有多大区别,所以二次电子的分辨率较高,一般可达到5到10nm。