请教薄膜样品做XRD、SEM和原子力显微镜测试的先后顺序？

Question

如题，做这些测试会不会对薄膜表面有影响，需要考虑测试的先后问题吗？

Answer 1

XRD、SEM和AFM测试没有固定的先后顺序。XRD通常薄膜厚度不够的话，需要剥离研磨制成粉末样品。SEM和AFM根据样品的特性选择一个测试就可以。测试时通常是选择同批次，同条件的几个样品分别去测形貌和组分。按照预约测试时间来安排测试顺序。选购原子力显微镜推荐Park NX-Hivac。

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XRD（X-ray
diffraction）是用来获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构。
2
SEM（扫描电子显微镜）是一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
3
AFM
（原子力显微镜）是一种表面观测仪器，与扫描隧道显微镜相比，能观测非导电样品。
XRD通常薄膜厚度不够的话，需要剥离研磨制成粉末样品。SEM和AFM根据样品的特性选择一个测试就可以。测试时通常是选择同批次，同条件的几个样品分别去测形貌和组分。按照预约测试时间来安排测试顺序。