测量表面粗糙度可以用时下热门的纳米级测量仪器-光学3D表面轮廓仪、激光共聚焦显微镜。
1、光学3D表面轮廓仪（光学，非接触式）
光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术原理，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
中图光学3D表面轮廓仪
2、激光共聚焦显微镜（光学，非接触式）
激光共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法共同组成测量系统，能用于各种精密器件及材料表面的非接触式微纳米测量。能测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。
激光共聚焦显微镜
温馨提示：答案为网友推荐，仅供参考
相似回答