粗糙度等级
粗糙度标准
效率要求、使用场景
如若是软质材料或者粗糙度<0.2μm选择非接触式粗糙度仪;
探针式粗糙度仪一般只能测量线粗糙度而不能测面粗糙度。
原子力显微镜≥白光干涉仪>激光共聚焦显微镜>探针式粗糙度仪>景深叠加三维显微镜
白光干涉仪是一种精密测量仪器,能对物体表面的粗糙度/光洁度/洁净度、轮廓、微观三维形貌、PV值、台阶、高度、平面度、盲孔等进行高精度测量。
白光干涉仪AM系列的测量精度很高,精度可以达到亚纳米级别。以大量程、高精度的高速压电陶瓷单元驱动的白光干涉仪精度高达0.03nm,扫描速度高达400μm/s。它应用的行业很广泛,可应用于新能源、半导体、精密加工、精密光学、航空航天、3C产品、材料、液晶等领域。