怎么选购电涡流传感器

Question

量程为4mm，标准灵敏度为0.83V/mm,的一个涡流传感器能不能测出位移在0.5微米左右的位移。或者怎样根据我我的要求：需要测量0.5微米的位移，选购相关的电涡流传感器。

Answer 1

一般电涡流位移传感器输出0～10V， 也就是说全量程4mm, 对应10V。 你给的灵敏度是说每移动1毫米，电压输出0.83V？你要看传感器的分辨率，也就是最小需要位移多少，会产生电压变化。这个灵敏度不说明问题。我见过比较精密的电涡流传感器，可以达到分辨率0.02微米。比如德国米铱eddyNCDT3300， 量程0.4毫米的情况下。你如果想量程4毫米，可以选ES4探头，分辨率能到0.2微米，能满足你的要求。具体你说的这个传感器，说不好。

Answer 2

精度要求太高了，一般电涡流最多就到0.001mm，也就是1um的精度。这还受限于噪音、温漂和稳定性等因素的影响。