首先不同行业对精密的定义不甚一样。其中主要设计的概念包括精度，分辨率和重复性。精度也称线性度，或者绝对误差。指传感器测量值偏离理论真实值的最大偏差。分辨率指传感器能够产生输出变化所需的最小位移变化量。重复性指传感器反复测量同一位置，测量值之间的变化量。高端精密电容位移传感器，精度可达纳米级别。分辨率会更小，重复性很大程度上取决于传感器是否有好的温度补偿功能和环境的稳定性。电容传感器目前国际上比较高端的牌子有德国米铱和美国MTI, 当然价格也会相对高一些。如果是真的需要超高性能的领域，如精密零件的测量，精密机构的移动（如光刻机定位）等，还是要采用高端的传感器。
温馨提示：答案为网友推荐，仅供参考
第1个回答 2012-12-07
电容位移传感器简介 电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。目前主要类型为ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-CⅡ型、FW-C1型。
编辑本段电容位移传感器特点:
1.旋转轴的径向跳动，轴向窜动和回转精度；
2.往复机构的运动特性和重复定位精度；
电容位移传感器
3.正弦波激振和脉激振中振动测量；
4.机器零部件相对振动相对变形；
5.盘类零件的端面振摆；
6.轴承间隙和油膜厚度；
7.检测零部件尺寸和平直度；
8.线切割机床电极丝的振动；
9.机床主轴热位移与动态加载试验测量；
10.也可用于金属导体之外的绝缘物体（如大理石、塑料、砂轮、玻璃、陶瓷等）的振动、位移测量。
电容位移传感器特点：
量 程：初始间隙δo与传感器电极板do
分 辨 率：0.01nm 零磁滞
非 线 性：±0.25%FSO
频带可调：50～5000Hz
灵敏度可调：5～125μm/V
输出信号：0—±5.0V
零 漂：≤±0.25%FSO
电 源：±15V
体 积：19cm×12cm×8cm来自：求助得到的回答本回答被网友采纳
编辑本段电容位移传感器特点:
1.旋转轴的径向跳动，轴向窜动和回转精度；
2.往复机构的运动特性和重复定位精度；
电容位移传感器
3.正弦波激振和脉激振中振动测量；
4.机器零部件相对振动相对变形；
5.盘类零件的端面振摆；
6.轴承间隙和油膜厚度；
7.检测零部件尺寸和平直度；
8.线切割机床电极丝的振动；
9.机床主轴热位移与动态加载试验测量；
10.也可用于金属导体之外的绝缘物体（如大理石、塑料、砂轮、玻璃、陶瓷等）的振动、位移测量。
电容位移传感器特点：
量 程：初始间隙δo与传感器电极板do
分 辨 率：0.01nm 零磁滞
非 线 性：±0.25%FSO
频带可调：50～5000Hz
灵敏度可调：5～125μm/V
输出信号：0—±5.0V
零 漂：≤±0.25%FSO
电 源：±15V
体 积：19cm×12cm×8cm来自：求助得到的回答本回答被网友采纳
第1个回答 2012-12-07
ZCS1100的特点有纳米级分辨率；分辨率：0.1nm；供电：±15VDV；高性能、成本低，尺寸小巧；线性0.08%；灵敏度可调；量程：240µm。本回答被提问者采纳
第2个回答 2012-12-07
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