为什么电子显微镜应用一般都用电容位移传感器来测量?

如题所述

电容位移传感器的安装尺寸较小,比较适用于小型精密设备使用,并且电容位移传感器是非接触测量位移传感器,具有使用寿命长,测量精度高、信噪比大等优点
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