微电子与光电子集成技术是一个融合了光电子发射、光电感应、光信号传输和微电子处理的前沿领域，其核心内容涉及：
光发射器件，用于生成和调控光信号；
光电探测器，用于捕捉和转换光信号为电信号；
光波导器件，用于引导和调控光信号的传播；
光电子专用集成电路，将光电子功能集成于单一芯片，实现高效处理；
硅基光电子集成回路，利用硅材料作为平台，提升集成度和稳定性；
甚短距离光传输技术，专注于近距离高速光通信；
以及微电子与光电子的混合集成技术，旨在打破两者间的界限，实现更紧密的协同工作。
尽管这一技术在推动21世纪科学技术发展中扮演着关键角色，但其发展道路并非一帆风顺。尽管关键技术取得了显著进步，但仍存在许多挑战和待解决的问题，如信号损耗、集成密度提升、材料兼容性等，需要科研人员不断探索和优化。
本书主要为致力于集成光电子和光通信等领域研究的科研人员提供了丰富的参考资源，旨在帮助他们深化理解、解决技术难题，推动这一领域向更高水平发展。
微电子技术与光电子技术紧密结合，相互渗透，必将推进信息技术及相关的高新技术进入新的发展阶段。本书共分为9章，从技术基础和实际应用的角度出发，着重对微电子与光电子集成技术相关的工艺基础、基本原理和关键集成技术进行了详细阐述。