白光干涉仪的原理是什么

Question

如题所述

Answer 1

两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光干涉。

点A和点B的干涉条纹高度峰值之间的差即为高度差。

白光干涉仪的光干涉原理，分为两类：PSI相移干涉法和VSI垂直扫描干涉法。

PSI相移干涉法：

PSI

相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉。目标面的反射光和参考面的反射光之间的相位为Ø，距离参考面的高度为h，则Ø=4h/λ。借助相位测量法，可使用雅典扫描器等传动器移动测量面的光路，计算以1/4波长移动光路时获得的多个干涉条纹的相位差（Ø），然后将其转换为高度h。

VSI垂直扫描干涉法：

VSI

垂直扫描干涉法物镜以一定的间隔移动，以便确定每一阶的干涉条纹的亮度。当测量面的光路和参考面的光路长度相等时，干涉条纹的亮度达到最高。通过确定CCD光接收元件中每点最大干涉条纹亮度的Z轴高度可测出3D轮廓即高度差。

Answer 2

白光干涉仪以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

Answer 3

白光干涉仪：是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。

白光干涉仪基本原理：就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。

干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。

白光干涉仪的主要功能：观察、分析、应用。