国家半导体大基金二期重点投资半导体装备及材料,国产EUV光刻机能跟上吗?

如题所述

国家半导体大基金二期注册资本2041.5亿元,半导体装备及材料投资成重点

近日,备受瞩目的国家集成电路产业投资基金二期(大基金二期)正式注册成立,注册资本高达2041.5亿元,较一期的1387.2亿元增长近50%,预计于11月启动投资。此次投资焦点转向半导体装备及材料行业,旨在填补国内高端制造领域的技术短板。


早在2014年,国务院便发布了《国家集成电路产业发展推进纲要》,设立大基金以推动行业投资。由财政部、国开金融等多家机构共同发起,大基金一期投资范围广泛,包括集成电路产业链的各个环节。然而,半导体装备及材料领域的投资相对较少,二期将在这方面加大投入。


大基金二期的2000多亿元将不仅投资于5G、AI人工智能、物联网等新兴领域,还将聚焦于国产半导体设备及材料的研发,例如光刻机、蚀刻机、大硅片等关键技术。目前,国产光刻机技术仍落后于先进水平,例如ASML公司的EUV光刻机,其售价高昂且技术门槛极高。国内仅中芯国际购入用于7nm工艺研究的EUV光刻机,显示出国产替代的紧迫性。


未来,大基金二期的投入将有望推动国产半导体装备及材料的自主研发,缩小与国际先进水平的差距,打破核心技术的国际垄断,为我国半导体行业的发展注入强大动力。

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