如题所述
在现在的各种各样的电子产品中,芯片可以说是最重要的零件,而光刻机就是芯片制造的核心设备之一。
按照用途可以分为好几种,用于生产芯片;用于封装;用于LED制造领域。
用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。