通过高压放电方式将空气中的氧气变成臭氧。进而，臭氧可以破坏细菌（病毒）的蛋白质和遗传物质达到杀菌效果。由于气体的发散性特征，臭氧杀菌可以对饮水机内部的管路、冷罐、热罐、水龙头和接水区等实现全效的杀菌效果。研究表明，臭氧溶于水中后的杀菌能力是氯气的600~3000倍，可杀灭细菌芽孢、病毒、真菌等，同时可去除铁、锰、氯等无机物。经广东疾病预防中心今年3月的检测，采用了臭氧杀菌技术的饮水机对于大肠杆菌、金黄色葡萄球菌等的杀菌率达到了99.9%以上。
由于性质不稳定，臭氧会在20分钟内分解出氧气，使饮水机里的水具有“富氧保鲜”的效果。人体中血液和淋巴液的循环，就是为了把更多的氧气传送到细胞。如果水中含氧量高，就能更迅速地促进细胞的活化。长期饮用含氧量高的纯净水，会感觉上盥洗室的次数增加，这就是因为纯净水含氧量高，容易为人体吸收，促进了人体的新陈代谢作用。
进行臭氧消毒时，需要清干净饮水机里的水，进行消毒冲洗后，最好还要等20分钟以上的时间才可以使用，否则会有臭氧的腥味。另外，人体对于臭氧的接受能力有一个安全值的范围，过浓的臭氧会对人类呼吸道造成伤害，因此使用时要小心
参考资料：www。58soso.cn