高精度位移传感器根据运动方式主要分为直线型和角度型两种。直线型传感器用于测量直线运动的位移，角度型传感器则适用于检测角度变化。按材料分类，有以下几种：
金属膜传感器：采用金属膜材料制成，适用于特定环境下的精确测量。
导电传感器：以导电材料为基础，适合于需要导电特性的应用。
光电式传感器：利用光的反射或干涉原理，提供高精度的位置信息。
磁敏传感器：利用磁场变化来检测位移，常用于磁性环境中。
金属玻璃铀传感器：可能是一种特殊的高精度材料制成的传感器。
绕线式传感器：通过绕线结构实现位移测量，具有一定的机械结构。
电位器传感器：通过电位变化反映位移，常见于需要连续线性反馈的场合。
从更广义的角度来看，高精度位移传感器大致可分为以下几类：
机械式：主要依赖机械运动或接触来测量位移。
接近式：如电容式、涡流式、霍尔效应式等，通过电磁感应或电容变化测量距离。
转速式：以光电式为主，通过测量旋转速度推算出位移。
多普勒式：利用多普勒效应测量物体的运动速度和位移。
液位式：包括浮子式、压差电容式等，用于液位高度的监测。
流量式：如电磁式、涡流式，用于测量流体流量和位移。
激光位移式：利用激光技术提供高精度的非接触式位移测量。