1、韩
秦始皇十七年，韩王安九年（公元前230年），秦为彻底灭韩，派内史腾率兵再度对韩进攻，韩无力抵抗，内史腾指挥秦军攻克韩都，俘虏韩王安，把所得韩地改建为颍川郡。 [8] 这样，韩成为当时六国最先被灭亡之国。
2、赵
秦始皇十九年（公元前228年），赵葱、颜聚奋战数月，最终被秦将王翦击败。秦国攻下邯郸后，赵国灭亡，公子嘉逃到代地（今河北蔚县东北）称王，是为代王。公元前222年秦将王贲攻代，代灭，公子嘉自杀（或说被迁西戎）。建国250多年的赵国最终灭亡。
3、魏
秦始皇二十二年，魏王假三年（公元前225年），秦派兵进攻魏国首都大梁（今河南开封）。秦战地统帅王贲认为大梁城垣坚固，很难在短期内攻拔，于是引黄河、鸿沟之水冲灌大梁城，经3个月战争，城垣崩塌，魏王假出降，被王贲所杀，魏国灭亡，秦以其地建为东郡。
4、楚
秦始皇二十年（公元前227年），秦派将军王翦、辛胜率军对燕作战。秦军追击燕残部到辽东，由于地方偏远，对全局关系不大，即把兵力转用于对楚作战。经过3年左右时间，秦对楚战争胜利结束，又转用兵力，由将军王贲指挥，进攻辽东。燕军无力应战，燕王喜被秦军俘虏。秦又立即转移兵力，攻击代郡，赵嘉率部虽力战，终于不免失败，悲愤自杀。
5、燕
前226年，秦军攻下燕都蓟（今北京市），燕王喜与太子丹逃亡辽东郡。秦将李信率领秦军数千人，穷追太子丹至衍水（今辽宁浑河）。秦王政二十五年（前222年），王贲奉命攻伐燕国在辽东的残余势力，俘获燕王喜，燕国彻底灭亡。
6、齐
秦始皇二十六年（公元前221年），秦王贲统帅的军队，由燕南部对齐北境突然进攻，直趋齐都临淄。齐则毫无作战准备，竟无应战之兵。齐相后胜力劝齐王投降，齐王建也就不战而降。齐王建被送于共这个地方，饿死于松柏之间。这个贪图享受、丧失国家的亡国之君，得到应有的下场。
参考资料来源：百度百科-秦灭六国之战
先后分别攻打韩,赵,魏,楚,燕,齐。
六国先后灭亡的顺序如下：
1、挥师灭韩公元前230年，秦始皇派内史腾率军长驱直入，俘虏了韩王安，在韩国故地设置了颖川郡（郡治在今河南禹县），韩国宣告灭亡。韩国的灭亡是秦统一战争全面展开的标志。
2、破赵逼燕。秦灭韩之后，第二个目标就是赵国。公元前229年，赵国接连发生大地震和大饥荒，秦始皇再次命王翦、杨端向赵国发动全面进攻。王翦施行反间之计，用重金收买赵王宠臣郭开，大肆诽谤李牧等人，说他们要谋反，促使赵王将李牧杀害。公元前228年，王翦大破赵军，攻克邯郸，俘获赵王迁，占领赵国本土。接着挥师北上，屯于中山（河北定县），逼近燕国。
3、攻破燕国。秦军逼近燕国，引起燕、代一片恐慌。燕国的太子丹收容秦国叛将樊于期，并通过燕国勇士田光结识了刺客荆轲，企图刺杀秦始皇,但荆轲未能杀掉秦始皇，反而激起了秦始皇对燕国的愤怒。公元前226年，秦军攻占燕都蓟城（今北京市），燕王喜和太子丹逃往辽东。
4、占领魏地。秦军攻克燕都蓟城后，把打击的矛头指向了魏国。公元前225年，秦始皇派王翦的儿子王贲率领10万大军去攻打魏国。王贲看到大梁城地势较为低下，又离黄河、鸿沟不远，遂令秦军开渠，将黄河、鸿沟之水引至大梁城下。三个月后，城垣崩塌，秦军攻入大梁。魏王假投降，不久被杀，魏国灭亡。
5、大举伐楚。公元前225年，秦始皇派李信率军攻楚。李信轻敌冒进，先胜后败。公元前224年，秦始皇亲请老将王翦，令率60万大军伐楚。大破楚军于蕲南，杀楚将项燕，占领楚国大片领土。公元前223年，王翦与蒙武合攻楚都寿春，俘获楚王负刍。次年王翦又率军渡过长江，平定了楚国的江南地区，降服百越之君。楚国宣告灭亡。
6、吞灭齐国。楚国灭亡后，秦始皇派王贲率军深入东北，扫除燕、赵残余势力。公元前222年，王贲攻占辽东，俘虏了燕王喜。接着攻下代城，俘虏了代王嘉。燕、赵两国彻底灭亡。至此，东方六国中就只剩下齐国。公元前221年，秦始皇命王贲率秦军从燕国边界南下进攻齐国。王贲以迅雷不及掩耳之势，在没有遇到什么抵抗的情况下，猝然攻入齐都临淄（山东淄博）。齐王建入秦投降，齐国也被纳入秦国的版图。