测量表面粗糙度还有哪些方法

如题所述

直接用现代化工业测量仪器来测量是最省时省力的。比如测纳米级别的粗糙度用先进的光学测量仪器——白光干涉仪。

它是以白光干涉扫描技术为基础研制而成用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。利用光波干涉原理 将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来,并利用放大倍数高的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量,以得出被测表面粗糙度,可以轻松测量粗糙度。

硅晶圆粗糙度测量

蓝宝石粗糙度测量

白光测量的粗糙度范围从0.1nm到10μm别。面和线粗糙度测量,可确保0.1nm的测量可靠性,不限制材质和形状。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造等领域,可测从纳米到微米级别工件的粗糙度。

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第1个回答  2022-09-29

测量表面粗糙度还有哪些方法

表面粗糙度表征了机械零件表面的微观几何形状误差。对粗糙度的评定,主要分为定性和定量两种评定方法,所谓定性评定就是将待测表面和已知的表面粗糙度比较样块相互比较,通过目测或者借助于显微镜来判别其等级;而定量评定则是通过某些测量方法和相应的仪器,测出被测表面的粗糙度的主要引数,这些引数是Ra,Rq,Rz,Ry ;
他们代表的意义是:Ra 是轮廓的算术平均偏差,即在取样长度内被测轮廓偏距绝对值之和的算术平均值。
Rq 是轮廓的均方根偏差:在取样长度内轮廓偏距的均方根值。
Rz 是微观不平度的10点高度:在取样长度内5个最大的轮廓峰高与5个最大的轮廓谷深的平均值之和。
Ry 是轮廓的最大高度:在取样长度内轮廓的峰顶线与轮廓谷底线中线的最大距离。
目前常用的表面粗糙度测量方法主要有样板比较法,光切法,干涉法,触针法等。
1. 比较法 它是在工厂里常用的方法, 用眼睛或放大镜,对被测表面与粗糙度样板比较,或用手摸靠感觉来判断表面粗糙度的情况;这种方法不够准确,凭经验因素较大,只能对粗糙度引数值较大情况,给个大概范围的判断。
2. 光切法 它是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法。在实验室中用光切显微镜或者双管显微镜就可实现测量,它的测量准确度较高,但它是与对Rz,Ry 以及较为规则的表面测量,不适用于对测量粗糙度较高的表面及不规则表面的测量。
3. 干涉法 它是利用光学干涉原理测量表面粗糙度的一种方法。这种方法要找出干涉条纹,找出相邻干涉带距离和干涉带的弯曲高度,就可测出微观不平度的实际高度;这种方法调整仪器比较麻烦,不太方便,其准确度和光切显微镜差不多;
4. 触针法 它是利用仪器的测针与被测表面相接触,并使测针沿其表面轻滑过测量表面粗糙度的测量方法。采用这种方法的仪器最广泛的就是电动轮廓仪,它的特点是:显示数值直观,可测量许多形状的被测表面,如轴类,孔类,锥体,球类,沟槽类工件,测量时间少,方便快捷。
它可分为行动式和台式电动轮廓仪, 行动式仪器可在现场进行测量,携带方便;带记录仪的电动轮廓仪,可绘制出表面的轮廓曲线,带微机的轮廓仪可显示轮廓的形状情况,并有印表机打印出资料和表面的轮廓线,便于分析和比较。它的测量范围较大:Ra 值一般在0.02—50μm 。
这里我们对电动轮廓仪的原理和仪器常见的故障排除方法进行讨论;
电动轮廓仪的工作原理采用的是触针法。仪器利用驱动箱拖动电感感测器在工件表面上以一定的速度滑行,电感感测器触针随同被测表面轮廓的峰谷起伏,产生上下位移,这个线值位移量引起感测器内测量桥路两臂中电感量的变化,从而使得电桥输出与触针位移成比例的条幅讯号,这个微弱的电讯号经过电子装置放大整流后,成了代表工件截面轮廓的讯号。
将它输入记录仪,就得到了截面轮廓的放大图;或者把讯号通过适当的环节进行滤波和计算后,由电表直接读出Ra 引数评定的表面粗糙度的值。

测量表面粗糙度还有哪些方法?其应用范围如何?

粗糙度是指工作已加工表面不光滑的程度。在切削加工过程中由进给而造成的切削痕迹是以波峰波谷形式出现,而峰谷高度很小,一般多为零点几微米,因此表面粗糙度属于零件表面的微观形状误差.其测量方法:
(1) 直接量法:利用光学、电动仪器对零件表面直接量取有关引数,确定粗糙度等级。
直接测量又分为接触测量和非接触测量。
(2)比较测量法:将被测表面与标准粗糙度样板作比较,评定粗糙度等级。粗糙度样板(又称粗糙度标准块),是以不同的加工方法(车、刨、平铣、立铣、磨等)制成的一组金属块。
(3)印模法:此种方法多用于不能用仪器直接测量的或内表面,可用塑性材料作成块状的印模,贴合在被测表面上,待取下后贴合面上即复制出被测表面的轮廓状况,然后对此印模进行测量,确定其粗糙度等级。
(4)综合测量法:它是利用被测表面的某种特征来间接评定表面粗糙度的级别,而不能测峰谷不平高度的具体数值。(陈民)

1 接触式粗糙度仪测量--常见的是测针接触式测量,测力一般在4mN以内,要求被测工件表面不易划伤或变形,通过选择不同形状及规格的测针,可满足绝大部分产品的粗糙度测量。
2 非接触式粗糙度测量--常见的有白光扫描式测量,通过白光干涉原理扫描检测工件表面微观形状,通过电脑软体计算表面粗糙度。得益于非接触的方式,该方案可对应各种工件的粗糙度测量需求,但价格相比接触式装置较高。

表面粗糙度都有哪些测量方法?

表面粗糙度测量方法:
1、比较法
比较法测量简便,使用于车间现场测量,常用于中等或较粗糙表面的测量。方法是将被测量表面与标有一定数值的粗糙度样板比较来确定被测表面粗糙度数值的方法。比较时可以采用的方法:Ra>1.6μm时用目测,Ra1.6~Ra0.4μm时用放大镜,Ra比较时要求样板的加工方法,加工纹理,加工方向,材料与被测零件表面相同。
2、触针法
利用针尖曲率半径为2微米左右的金刚石触针沿被测表面缓慢滑行,金刚石触针的上下位移量由电学式长度感测器转换为电讯号,经放大、滤波、计算后由显示仪表指示出表面粗糙度数值,也可用记录器记录被测截面轮廓曲线。一般将仅能显示表面粗糙度数值的测量工具称为表面粗糙度测量仪,同时能记录表面轮廓曲线的称为表面粗糙度轮廓仪。这两种测量工具都有电子计算电路或电子计算机,它能自动计算出轮廓算术平均偏差Ra,微观不平度十点高度Rz,轮廓最大高度Ry和其他多种评定引数,测量效率高,适用于测量Ra为0.025~6.3微米的表面粗糙度。
3、光切法
双管显微镜测量表面粗糙度,可用作Ry与Rz引数评定,测量范围0.5~50。
4、干涉法
利用光波干涉原理(见平晶、镭射测长技术)将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来,并利用放大倍数高(可达500倍)的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量,以得出被测表面粗糙度。应用此法的表面粗糙度测量工具称为干涉显微镜。这种方法适用于测量Rz和Ry为0.025~0.8微米的表面粗糙度。
表面粗糙度(surfaceroughness)是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。其两波峰或两波谷之间的距离(波距)很小(在1mm以下),它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小,则表面越光滑。表面粗糙度一般是由所采用的加工方法和其他因素所形成的,例如加工过程中刀具与零件表面间的摩擦、切屑分离时表面层金属的塑性变形以及工艺系统中的高频振动等。由于加工方法和工件材料的不同,被加工表面留下痕迹的深浅、疏密、形状和纹理都有差别。

用双管显微镜测量表面粗糙度

金相仪,光泽仪。

用 sj210 表面粗糙度测量仪 测量表面怎么有划痕

接触式的测量肯定有划痕啊,可以换压力小点的测针。或者直接换成非接触的粗糙度,郑州源测精密精密有售,也回收SJ210

光切法显微镜测量表面粗糙度属于什么测量

所以还在被广泛应用。峰谷高度超出一定的范围,就不能在目镜视场中成清晰的真实影象而导致无法测量或者测量误差很大。但由于该方法成本低、易于操作, 所以可测表面的轮廓峰谷的最大和最小高度,要受物镜的景深和鉴别率的限制, 避免了与被测表面的接触。由于它采用了光切原理它将一束平行光带以一定角度投射与被测表面上,光带与表面轮廓相交的曲线影像即反映了被测表面的微观几何形状,解决了工件表面微小峰谷深度的测量问题

怎么以光学方法作表面粗糙度测量

怎么以光学方法作表面粗糙度测量
直接的斑点表面粗糙度的量取方式为利用反射回来的光量经光电效应转换成电压值。

常用表面粗糙度测量的方法有哪些?用在什么场合?

粗糙度是指工作已加工表面不光滑的程度。在切削加工过程中由进给而造成的切削痕迹是以波峰波谷形式出现,而峰谷高度很小,一般多为零点几微米,因此表面粗糙度属于零件表面的微观形状误差.其测量方法:
(1) 直接量法:利用光学、电动仪器对零件表面直接量取有关引数,确定粗糙度等级。
直接测量又分为接触测量和非接触测量。
(2)比较测量法:将被测表面与标准粗糙度样板作比较,评定粗糙度等级。粗糙度样板(又称粗糙度标准块),是以不同的加工方法(车、刨、平铣、立铣、磨等)制成的一组金属块。
(3)印模法:此种方法多用于不能用仪器直接测量的或内表面,可用塑性材料作成块状的印模,贴合在被测表面上,待取下后贴合面上即复制出被测表面的轮廓状况,然后对此印模进行测量,确定其粗糙度等级。
(4)综合测量法:它是利用被测表面的某种特征来间接评定表面粗糙度的级别,而不能测峰谷不平高度的具体数值。

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