几何尺寸测量仪常用的四种激光位移传感器有哪些?

如题所述

激光位移传感器是几何尺寸测量中常用的设备,它们通过不同的工作原理来实现精确的距离测量。以下是目前广泛应用的四种激光位移传感器类型:
1. **三角测量法激光位移传感器**:
这类传感器通过发射激光束照射到被测物体表面,然后利用传感器内置的摄像系统捕捉反射激光形成的图像。通过分析图像中激光光斑的位置变化,可以准确计算出传感器与被测物体表面之间的距离。
2. **相位式激光测距传感器**:
相位式传感器利用无线电波频率对激光束进行幅度调制,并通过测量调制光往返被测物体一次所产生的相位延迟来确定距离。通过换算相位延迟对应的距离,可以实现高精度的长距离测量。
3. **二维激光测量传感器**:
二维激光测量传感器同样采用三角测量法,但它是通过发射线激光束照射被测物体表面,并捕捉线形光斑的图像。分析图像中光斑的位置,可以得到线形光斑在X轴和Z轴上的坐标尺寸,从而测量物体的几何尺寸。
4. **PSD芯片激光位敏传感器**:
PSD(Position Sensitive Detector)芯片传感器通过测量激光能量中心的位置来实现位移测量。PSD是一种光电器件,能够精确确定光斑中心的位置。这种传感器以其高测量精度而著称,一维测量精度可达到0.2微米。由于PSD芯片的光敏面没有象限分割线,因此消除了测量盲区,能够对光斑位置进行连续测量。
这些激光位移传感器的应用,极大地提高了几何尺寸测量的准确性和效率,它们在制造业、科研等领域发挥着重要作用。
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