第1个回答 2011-01-24
真空泵,是把容器抽真空的,容器中是什么气体,出来的就是什么气体。通常都是普通的空气。
第2个回答 2011-01-24
等离子一般都是腐蚀性的气体,常规的真空泵是用不了的,等离子加工含的气体气体有好几种,腐蚀性气体是有毒气体,如果浓度高就会毒死人的。
第3个回答 2011-01-30
光伏产业CVD用的气体与半导体类似,主要是硅烷,DCS,TEOS,HCl,NH3,Cl2,基本都是易燃易爆或者有毒有害气体
第4个回答 2012-08-15
CF4和NH3的反应气体,真空泵排气端接尾气处理装置,处理后空排,应该不会对人产生危害的,如果没有尾气处理装置,产生氟化物气体对人伤害较大,主要表现为肺部病状和生殖系统病状。环保局要管的。