太阳能等离子刻蚀机的真空泵产生气体是什么气体，对人会产生什么危害

Question

如题所述

Answer 1

CF4和NH3的反应气体，真空泵排气端接尾气处理装置，处理后空排，应该不会对人产生危害的，如果没有尾气处理装置，产生氟化物气体对人伤害较大，主要表现为肺部病状和生殖系统病状。环保局要管的。

Answer 2

真空泵，是把容器抽真空的，容器中是什么气体，出来的就是什么气体。通常都是普通的空气。

Answer 3

等离子一般都是腐蚀性的气体，常规的真空泵是用不了的，等离子加工含的气体气体有好几种，腐蚀性气体是有毒气体，如果浓度高就会毒死人的。

Answer 4

光伏产业CVD用的气体与半导体类似，主要是硅烷，DCS，TEOS，HCl，NH3，Cl2，基本都是易燃易爆或者有毒有害气体

Answer 5

CF4和NH3的反应气体，真空泵排气端接尾气处理装置，处理后空排，应该不会对人产生危害的，如果没有尾气处理装置，产生氟化物气体对人伤害较大，主要表现为肺部病状和生殖系统病状。环保局要管的。