宝来1.8机油压力传感器工作原理

如题所述

机油压力传感器是一种基于硅压阻效应的MEMS压力传感器。压力芯片采用硅微加工工艺制作而成,待测压力作用于硅膜片正面,硅膜片背面与玻璃基体间为参考真空;压力芯片和键合引线采用氟硅凝胶保护,可应用于无腐蚀环境下的机油压力测量。在可承受的压力范围内,压力传感器输出与压力成一定比例的电流(PWM)信号或电压信号;在宽温度范围内(-40至+125℃)传感器电路提供精确稳定的信号输出和温度补偿。
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