主要误差来源有单波长测得的位相Φ、被测表面深度h。
干涉理论,对于任意结构的表面,如果用波长为λ 的光波进行测量,被测表面上任一点的深度 h 与测出的位相Φ 之间的关系为(对反射式测量):2h=mλ+λ/2π·φ。
式中,m是干涉条纹级次,如果h较小,干涉级次m<1,那么可以直接用单波长测得的位相Φ求出被测表面深度 h;但是如果深度较大,干涉级次m等于或超过 1,那么就无法仅用单波长的测量结果确定真实的深度 h。
扩展资料:
当采用干涉法测量非球面时,如果非球面曲率半径很大,干涉条纹将很密。当条纹密集到一定程度时,干涉条纹的测量变得非常困难甚至不可能。为减少干涉条纹,在非球面测量中,常采用Null镜头,由于Null镜昂贵且本身也需要测量,因此配备Null镜头测量非球面既麻烦又缺乏灵活性。
减少干涉条纹的另一个办法是使用波长较长的光源。波长增大,干涉条纹间距变大。但是使用长波测量时,测量光路调整困难,缺乏图像采集系统,更为遗憾的是长波不能用于透射测量,这大大限制了它的使用范围。
双波长测量法克服了长波测量的缺陷,它采用两个较短波长的测量结果间接有效地达到长波测量的效果。