在紫外线辐射下，通过电子放射或暴晒从双原子氧气可自然形成臭氧。
主要的制臭氧技术有：电解法、
核辐射法、紫外线、等离子体及电晕放电法等几种。应用比较广泛的是臭氧发生器放电氧化空气或纯氧气成臭氧，
紫外线杀菌灯分解空气中的氧气形成臭氧。即应用高能量交互式电流作用
空气中的氧气使氧气分子电离而成臭氧。
高锰酸盐和强酸反应可以生成臭氧(O3)。
分子式：O3
特别注意：因为臭氧特殊的π键，故臭氧转化为氧气是一个
氧化还原反应，
2O3==(放电)==3O2转移电子数为4/3mol.
臭氧（O3）是氧元素的
同素异形体，它的化学性质十分活泼，很容易跟其他物质发生化学反应。
臭氧在遇到H、OH、NO、Cl、Br时，就会被催化，加速分解为O2。氯氟烃之所以被认为是破坏臭氧层的物质就是因为它们在在太阳辐射下分解出Cl和Br原子