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目前机床导轨直线度测量最有效的方案是利用激光干涉仪。
激光干涉仪测量机床导轨直线度原理:
直线度干涉镜在移动过程中产生横向或纵向位移时,两束反射光会有相对应的光程差产生,SJ6000采集到该光程差的干涉信号,经过运算处理,即可得出对应的直线度值。
直线度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组(或长直线度镜组)、SJ6000静态测量软件等组件构成,可满足±3mm范围内的直线度测量。
▲ 运动轴的横向直线度测量示意图
▲ 运动轴的纵向直线度测量示意图
如图片所示,是测量平行度的,直线度如楼上所说,将测头移到线轨表面或侧面即可。