秦
秦代开始形成制度，之后便成为历代的一项重要政治制度。经过长期的发展，这一制度逐步健全和完备。秦汉时期公元前221年,秦统一中国，建立起专制主义的中央集权制度，并创建了监察制度。中央设立御史大夫，位列三公,以贰丞相,御史府为其官署，掌握天下文书和监察。在地方上,皇帝派御史常驻郡县,称“监御史”，负责监察郡内各项工作。
汉
汉承秦制，但较秦制更严密。在西汉，中央仍设御史大夫作为长官，御史中丞为副，兼掌皇帝机要秘书和中央监察之职。在地方上，西汉初年废监御史，由丞相随时委派“丞相史”，分刺诸州。汉武帝时，为加强中央对地方的控制，全国分为13个监察区，叫州部，每个州部设刺史1人，为专职监察官,以“六条问事”,对州部内所属各郡进行监督。丞相府设司直，掌佐丞相举不法。朝官如谏大夫加官给事中，皆有监察劾举之权。郡一级有督邮，代表太守，督察县乡。宣帝时，会侍御史二人掌法律文书，也有评断决狱是非之权。因特别使命而设的符玺御史、治书御史、监军御史、绣衣御史（亦称绣衣直指）等，分别行使御史的职权。西汉末年，御史大夫更名大司空，御史府改作御史台，由御史中丞主管监察事务。东汉时，御史台称宪台，仍以御史中丞为长官，但职权有所扩大。御史台名义上转属少府，实为最高的专门监察机关。它与地位显要的尚书台、掌管宫廷传达的谒者台，同称“三台”。东汉侍御史，掌纠察；治书侍御史,察疑狱。把全国分成13个监察区,包括1个司隶(中央直辖区)和12个州。司隶设司隶校尉1人,地位极为显赫，朝会时，与尚书台、御史中丞一样平起平坐，号曰“三独坐”。司隶校尉负责监察除三公以外的朝廷百官和京师近郡犯法者。每州置1刺史，用以监察地方政情、受理案件、考核官吏。由于事权混杂，后来刺史逐渐变为凌驾于郡之上的一级地方行政长官，失去监察作用，故改称州牧，州也由监察区变为行政区，地方监察制度便基本瓦解。
宋
宋代监察机构随着封建专制主义的发展而加强。中央沿袭唐制，御史台仍设三院。地方如设通判，与知州平列，号称监州，有权随时向皇帝报奏，成为皇帝在地方上的耳目。此外，路一级的转运使、提点刑狱公事等，也负有监察州县的责任。为保证监察御史具有较多的从政经验，宋代明确规定，未经两任县令者不得任御史之职。按规定，御史有“闻风弹人”之权，每月必须向上奏事一次，称“月课”；上任后百日必须弹人，否则就要罢黜为外官或受罚俸处分，名为“辱台钱”。从此开御史滥用职权之例。御史可以直接弹劾宰相，亦有劝谏之责。御史台还有权分派御史参与重大刑事案件的审理。
明
明代监察制度随着君主专制中央集权的强化而得到充分发展和完备。中央将御史台改为都察院，“主纠察内外百官之司”。都察院设左右都御史、副都御史和佥都御史。下设13道监察御史，共110人，负责具体监察工作。监察御史虽为都御史下属，但直接受命于皇帝，有独立进行纠举弹劾之权。明代还建立御史出使巡按地方的制度。出巡之官受皇帝之命，可兼管地方其他事务。担任总督和巡抚的官员,其权力比一般巡按御史要大,有“便宜从事”之权。都察院除执行监察权外，还握有对重大案件的司法审判权。战时,御史监军,随同出征。
明代还将地方分区监察和中央按系统监察相结合，专设六科给事中，稽察六部百司之事，旨在加强皇帝对六部的控制。礼、户、吏、兵、刑、工六科，各设都给事中1人，左右都给事中各1人，给事中若干人。凡六部的上奏均须交给事中审查，若有不妥，即行驳回；皇帝交给六部的任务也由给事中监督按期完成。六科给事中与各道监察御史合称科道。科道官虽然官秩不高，但权力很大,活动范围极广。因此,对科道官的选用十分严格。同时还规定，对监官犯罪的处分比一般官吏要重，“凡御史犯罪加三等，有赃从重论”（《明史·职官志》）。
清代
清代监察机构沿袭明代，又有所发展。在中央，仍设都察院。早在入关之前，皇太极即下诏：“凡有政事背谬及贝勒、大臣骄肆慢上、贪酷不清、无礼妄行者,许都察院直言无隐”。“倘知情蒙弊,以误国论”（《大清会典·事例》卷九百九十八）。各级官吏均置于都察院监督之下。清代都察院以都御史为主事官，他与六部尚书、通政使、大理寺卿等重要官员共同参与朝廷大议。都察院下设15道监察御史(清末增至22道)，专司纠察之事。雍正年间，专察六部的六科给事中并入都察院。六科给事中和各道监察御史共同负责对京内外官吏的监察和弹劾。唐代的台、谏并列，明代的科、道分设，清代的科、道则在组织上完全统一。监察权的集中，是清代监察制度的一大特点。
清代，一方面允许监察官风闻言事，直言不讳；另一方面为了防止监察官权力过大，规定御史对百官弹劾要经皇帝裁决。到宣统年间，新内阁成立，都察院被撤销。作用与特点中国封建社会历代的监察制度，对加强政府对官吏的监督,清□除害,调整统治阶级内部矛盾，起了一定的作用。它成为加强中央对地方的控制、强化皇权、巩固封建统治的重要手段。但在封建君主专制制度下，监察制度是皇权的附属品，它能否发挥正常作用，与皇帝的明昏有密切关系。同时，由于封建政权和封建官吏的阶级本性所决定，监官本身因贪赃枉法而获罪者也不乏其人。
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