精密测量仪器主要包括以下几种：
一、光学显微镜
光学显微镜是一种利用光学原理进行微观观测的精密仪器。它通过镜头放大，使人们能够观察到微小的物体或结构。光学显微镜有多种类型，如生物显微镜、金相显微镜等，广泛应用于科研、教育、制造业等领域。
二、电子显微镜
电子显微镜是一种更为先进的精密测量仪器，其分辨率远高于光学显微镜。电子显微镜通过发射电子束，以电磁透镜成像，能够观察更微小的结构和细节。这种仪器在材料科学、生物医学、环境科学等领域有广泛应用。
三、测量投影仪
测量投影仪是一种集光学、机械、电气于一体的精密测量设备。它主要用于检测工件的尺寸精度、形状和位置等参数。这种仪器在制造业的质量控制、研发等领域有着重要作用。
四、激光干涉仪
激光干涉仪是一种高精度的测量仪器，利用激光干涉原理进行长度、位移、振动等参数的测量。它具有高精度、高稳定性等特点，广泛应用于精密机械、光学制造、航空航天等领域。
详细解释：
除了上述几种常见的精密测量仪器外，还有许多其他类型的精密测量设备，如三坐标测量机、轮廓仪、表面粗糙度计等。这些仪器在各自的领域都有广泛的应用。例如，三坐标测量机是一种用于测量复杂形状工件的三维坐标测量设备，具有高精度、高效率等特点；轮廓仪则是一种用于测量物体表面轮廓的仪器，适用于各种材料的表面分析。这些精密测量仪器的发展，为科研、制造、质量控制等领域提供了强有力的支持。