如何测量薄膜材料的表面张力

Question

如题所述

Answer 1

厚度测量：不是在线测量可以选择PD-CT2涂层测厚仪，分辨率0.1微米，误差±（1%H+1） um，在国内精度非常高了，如果是在线测量，PD-CT2磁阻法原理是接触式的，需要加做工装，条件不符合就必须用非接触式的激光或者红外去测量，造价比较贵。
晶体结构：用显微镜比较方便，不过属于破坏式，非破坏可以选择X射线测厚仪。
硬度：薄膜硬度比较难测，如果需要绝对值，一般用显微硬度计，还要看薄膜的厚度范围。