硼掺杂硅饱和浓度是多少

如题所述

10??至10??/cm?。硼掺杂硅的饱和浓度取决于具体的应用和工艺要求。一般来说,硼是一种常用的P型掺杂剂,用于在硅中引入正电荷载流子(空穴)。硼掺杂硅的饱和浓度通常以单位体积中硼原子的数量来表示,单位是/cm?。常见的硅片掺杂浓度范围是10??至10??/cm?。
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