真空泵从选购到使用过程中有哪些注意事项

Question

如题所述

Answer 1

　　真空泵从选购到使用过程中的注意事项有：
　　1）真空泵工作压强范围的选择。
　　在选择真空泵的类型时，需要考虑被抽真空室要达到的极限压强和工作压强。每种真空泵都有一定的工作压强范围。
　　2）真空泵大小的选择 。
　　选择真空泵的大小，就是确定真空泵的抽气能力。真空泵大小的选择主要根据两点：
　　a）根据被抽真空室工作时所需要的工作压强和室内的最大排气流量来决定。每种泵都有其极限压强和最佳抽速压强范围，真空室内压强要在泵的最佳抽速压强范围内。
　　b）根据真空室的大小和抽气时间要求来选择。 另外真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
　　有时候工作压强由单独一种真空泵并不能达到。此时需要正确地将不同的真空泵组合成为真空机组，以满足工作要求。 例如半导体行业真空室体积较大，要求真空室内工作环境清洁无油，抽气时间尽量短、以提高工作效率。这时抽速为15～60立方米/小时（4～16升/秒） 的无油涡旋真空泵，可以与罗茨泵组成无油真空机组，达到接近600立方米/小时（150升/秒）的抽速，实现大抽速、清洁无油的目标，就能够很好的满足半 导体行业镀膜生产线的要求。
　　3）考虑真空泵对周围环境的影响。
　　如果工作场所周围环境不允许有污染，红外碳硫分析仪如洁净室等，就要选择无油真空泵。
　　4）考虑真空泵工作时产生的噪音与振动对工艺过程及环境的影响。
　　真空泵：是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

Answer 2

好凯德真空泵选型，方法1、首先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸
性等；如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等；如抽取气体还有腐蚀性，则须选用材质；若
抽取的气体具有爆炸性，则应该选择水环式真空泵并且配防爆电机，因为水环式真空泵整个工作过程是等温的。

好凯德真空泵选型，方法2、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何，如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵如水环式真空泵，或者把油蒸气排到室外。

好凯德真空泵选型，方法3、真空设备或者零部件对油污染的要求，若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环式真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，若要求不严格，可以选择有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

好凯德真空泵选型，方法4、如有多台大型水环式真空泵同时工作，循环液应该进行冷却，否则影响真空度，冷却装置可以配备冷却塔，同时须配增压泵对管路加压。

好凯德真空泵选型，方法5、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若环境不允许，应选择无振动的泵或者采取减震措施。本回答被提问者采纳