NXT 1980Di光刻机能制造多少纳米的芯片？

Question

NXT 1980Di光刻机能制造多少纳米的芯片

Answer 1

光刻机能制造7纳米的芯片
光刻机在加工芯片的过程中，通过光源，形状控制的方法，将光束射过线路图，处理好光学误差，再将线路图的比例缩小，用化学的方法将电路图刻在硅片上。在晶圆上开出各种微小的空间注入离子，生成PN节，构建千千万万的元器件，这些工艺流程完成后，在一个晶圆上才能形成芯片的原型，还要经过切割、封装、套入管脚，测试等这些流程，才能完成最终的芯片。

Answer 2

这个型号精度最大10nm左右制程。