激光共聚焦显微镜和白光干涉仪哪个好

Question

如题所述

Answer 1

激光共聚焦显微镜和白光干涉仪它们有各自的优缺点。

从测量原理看，

激光共聚焦显微镜：

优点：成像精美、可用于10nm以上的粗糙度测量；

缺点：逐点扫描、扫描速度较慢、精度与镜头倍率/步进马达相关。

白光干涉仪：

优点：速度快、不同倍率精度相同、视野大、可用于0.01~100nm的粗糙度测量；

缺点：XY分辨率不如传统显微镜、角度特性较其他传统显微镜低。

除了表面粗糙度，白光干涉仪还可以进行尺寸测量、面型、三维图像比、图形统计、曲率、台阶高度、膜厚等测试。若想选择精度高、扫描速度快的白光干涉仪，首选以压电陶瓷器件驱动的白光干涉仪，除此之外的白光干涉仪的精度和扫描速度都非常一般。

综上，还是需要不同测量需求来选择不同原理的测量仪器。

Answer 2

两者同为微纳米级表面光学分析仪器，但是侧重点不同，哪个好这个问题还是要根据你的具体测量需求来看。如果用一个字眼来形容，那么白光干涉仪是“文”，而共聚焦显微镜是“武”。白光擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的准确；而共聚焦擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽在检测分辨率上略逊，但能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

白光干涉仪和激光共聚焦显微镜都具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点，都有表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，适用范围广，可测多种类型样品的表面微细结构。但是白光多用于测量大范围光滑的样品，尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的准确；而共聚焦更容易测陡峭边缘，擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽在检测分辨率上略逊，但成像图色彩斑斓，便于观察。

Answer 3

激光共聚焦显微镜分辨率高，但是扫描速度相对较慢；白光干涉仪相对分辨率较低。不过现在好多共聚焦显微镜可以同时具备这两种功能，比如日Lasertec的的Hybrid，莱卡也有类似的功能----午禾科技本回答被提问者采纳

Answer 4

白光干涉仪好一些，白光干涉仪检测速度快，十秒左右即可完成测量过程。在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于激光共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级超精密加工领域，除了SuperView W1白光干涉仪，其它的仪器无法达到其精度要求。