用一般机械粉碎法很难获得纳米材料，通常采用熔融金属雾化法和气体沉积法来制取纳米材料。雾化法凝结力强，产量高，但颗粒不太均匀；气体沉积法能获得清洁的超微粒子，而且颗粒大小易于控制。
80年代末，日本研制成一种冲击式超微粉碎机，能制造直径1微米以下的超微粉末。德国科学家于90年代初发明了一种生产金属超微粒子的新方法，是在一个封闭室内放进金属，然后充满惰性气体氦，再将金属加热变成蒸气，于是金属原子在氦气中冷却成金属烟雾，并使金属烟雾粘附在一个冷却棒上，再把棒上像碳黑一样的纳米大小的粉末刮到一个容器内；如果要用这些粉末制作零件，就可将它们模压成零件形成，通过烧结即可制成纳米材料零件。