一氧化硅是一种无机化合物，其化学式为SiO，常温常压下为黑棕色至黄土色无定形粉末，熔点1702°C，沸点1880°C，密度2.13克/立方厘米，难溶于水，能溶于稀氢氟酸和硝酸的混酸中并放出四氟化硅，在空气中加热时生成白色的二氧化硅粉末。一氧化硅不太稳定，在空气中会氧化成二氧化硅。当一氧化硅蒸气缓慢冷凝时会歧化（见歧化反应）而成硅和二氧化硅。
一氧化硅是有毒的，对眼睛、呼吸道和皮肤有刺激作用。万一接触眼睛，立即使用大量清水冲洗并送医诊治。 一氧化硅通常对水体是稍微有害的，不要将未稀释或大量产品接触地下水，水道或污水系统，未经政府许可勿将材料排入周围环境。