线性度：通常情况下，传感器的实际静态特性输出是条曲线而非直线。在实际工作中，为使仪表具有均匀刻度的读数，常用一条拟合直线近似的代表特性曲线，线性度（非线性误差）就是这个近似程度的一个性能指标。
拟合直线的选取有多种方法。如将零输入和满量程输出点相连的理论直线作为拟合直线，这种方法就比较粗糙，不常用。还有另一种方法就是将与特性曲线上各点偏差的平方和为最小的理论直线作为拟合直线，此拟合直线称之为最小二乘法拟合直线，这是比较常用的方法。
精度：则是指整个系统的所有参数的一个综合指标，它包含线性度、分辨率、灵敏度、热稳定性等，而且它受的影响也是多方面的，如安装、现场环境等等，当然有的人模糊的讲就可以讲是系统误差。这个可以看一下真尚有的参数指标说明，对于这些传感器基本指标都说明。
还有噪音指的就是分辨率，就是说纳米定位台可以感受到被测物的最小变化。当然如果看的是你图里面的话，你要乘以纳米平台当前工作频率的开方根，这才是分辨率
拟合直线的选取有多种方法。如将零输入和满量程输出点相连的理论直线作为拟合直线，这种方法就比较粗糙，不常用。还有另一种方法就是将与特性曲线上各点偏差的平方和为最小的理论直线作为拟合直线，此拟合直线称之为最小二乘法拟合直线，这是比较常用的方法。
精度：则是指整个系统的所有参数的一个综合指标，它包含线性度、分辨率、灵敏度、热稳定性等，而且它受的影响也是多方面的，如安装、现场环境等等，当然有的人模糊的讲就可以讲是系统误差。这个可以看一下真尚有的参数指标说明，对于这些传感器基本指标都说明。
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