1、大族激光（002008）：公司透露，在2020年6月17日的互动平台上，正在研发分辨率为3-5μm的光刻机项目，主要目标市场为分立器件和LED领域，并预计将在当年实现小批量销售。
2、张江高科（600895）：张江高科在互动平台上表示，通过其子公司上海张江浩成创业投资有限公司，于2016年对上海微电子装备有限公司投资了22,345万元，持股比例达到10.779%。
3、晶方科技（603005）：公司披露，在互动平台上，其荷兰客户ASML是公司并购的荷兰Anteryon公司的主要客户之一。Anteryon公司是全球领先的混合镜头和晶圆级微型光学器件技术提供商，产品适用于多个领域，包括半导体精密设备。
4、赛微电子（300456）：赛微电子在互动易平台上透露，公司为全球光刻机巨头厂商提供MEMS部件的透镜系统工艺开发和晶圆制造服务，并与ASML保持商业合作关系。公司的瑞典和北京生产基地配备了多台光刻机，其中瑞典产线自2017年以来保持高产能利用率。
5、万业企业（600641）：公司全资子公司凯世通致力于研发16纳米及以下制程的FinFET集成电路离子注入机，并已进入关键技术的研发阶段。此外，凯世通的低能大束流离子注入机已在2019年成功迁机并进入晶圆验证阶段。
6、上海新阳（300236）：上海新阳在互动易平台上表示，中芯国际是公司的主要客户之一。公司透露，在2020年2月，其KRF光刻机支持96层3D NAND用光刻胶研究，并已取得相关工艺制程的突破。
7、南大光电（300346）：公司使用超募资金投资于“ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目，以增强其在光刻胶领域的竞争力。
8、飞凯材料（300398）：飞凯材料专注于PCB光刻胶专用化学品的生产。
9、胜利精密（002426）：胜利精密计划募集资金不超过20亿元，用于光刻机产业化项目。
10、华特气体（688268）：华特气体是特种气体的行业龙头企业。
11、福晶科技（002222）：福晶科技是全球最大的LBO和BBO晶体供应商，以及重要的Nd:YVO4晶体供应商。公司的产品广泛应用于激光器行业，并在客户中建立了良好的合作关系。
12、智光电气（002169）：智光电气通过其子公司间接持有粤芯半导体股权，而粤芯半导体采购了荷兰ASML公司的光刻机。
13、容大感光（300576）：容大感光宣布设立子公司上海芯刻微材料技术有限责任公司，专注于193nm干法光刻胶的研发和产业化。
14、强力新材（300429）：强力新材从事PCB刻胶专用化学品生产。
15、晶瑞股份（300655）：晶瑞股份的光刻胶产品已通过中芯国际的上线测试并赢得订单。
16、光华科技（002741）：光华科技针对面板行业对光阻材料的大量需求，与韩国供应商合作，并已进入国内客户的材料测试认证阶段。
17、蓝英装备（300293）：蓝英装备的瑞士子公司UCMAG为光学和精密仪器行业提供清洗设备，并服务于ASML公司。
18、江化微（603078）：江化微的孙公司无锡澄泓生产的光刻胶剥离液主要用于液晶面板领域。
19、高盟新材（300200）：高盟新材主营业务为超净高纯试剂和光刻胶配套试剂等湿电子化学品。
20、奥普光电（002338）：奥普光电的主要业务为光电测控仪器设备、光学材料和光栅编码器等产品的研发、生产和销售。公司大股东长春光机所正在研发先进的光刻机曝光系统。
21、西陇科学（002584）：西陇科学是一家专注于微电子化学品研发、生产和销售的高新技术企业。
22、同益股份（300538）：同益股份在2019年3月披露，其参股公司博砚电子是一家光阻产品研发商，产品包括彩色滤光片用光阻和感光间隙材料。
23、广信材料（300537）：广信材料在2018年表示，其主营业务产品为光刻胶专用化学品，包括光引发剂和光刻胶树脂两大系列。
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