二氧化锆干法刻蚀原理

Question

如题所述

Answer 1

其原理是指利用等离子体中的化学活性原子团与被刻蚀材料发生化学反应，从而实现刻蚀目的。由于刻蚀的核心还是化学反应（只是不涉及溶液的气体状态），因此刻蚀的效果和湿法刻蚀有些相近，具有较好的选择性，但各向异性较差。二氧化锆干法刻蚀具有高精度、高效率、低污染等优点，被广泛应用于微电子、光电子、生物医学等领域。