臭氧发生器工作原理是仿生学的又一大应用，与雷达仿蝙蝠、直升机仿蜻蜓不一样的地方，臭氧发生器的工作原理仿的是自然现象，即臭氧的自然产生过程。
在自然界，臭氧的产生主要有两种方式：紫外线照射与高压放电产生。臭氧层的臭氧主要是紫外线照射产生的，而低空的臭氧则依赖于雷雨电闪时电击高气而产生，其原理完全不相同。
人工制取臭氧均可以模仿紫外线照射和高压放电的原理，不过，紫外线照射对环境条件要求更高，不能大范围的应用，局限性较大。而高压放电法则是一种技术成熟，稳定性好的方法。被广泛应用于各领域的大型臭氧发生器，小型臭氧发生器，水处理臭氧发生器，家用臭氧发生器等方面。
高压放电法的臭氧发生器原理跟自然界臭氧的产生的原理类似，自然界中高空云层闪电可达1亿~10亿伏高压，高压电离空气中的部分氧气分解聚合为臭氧，这是臭氧的自然形成过程。人工制取臭氧也可采用类似方法，通常达几万伏的电压可把空气中的氧气电离成臭氧。
上述人工方法能产生臭氧，但是在不同领域、不同场合的实际应用中，臭氧产生需要精确控制臭氧量、臭氧浓度、持续的时间等等。而臭氧本身是气体，同时易受空气湿度、温度等外部因素的影响，这对臭氧发生器的工艺制作水平提出了很高的要求。
但是很多人并不了解，他们会把臭氧产生器（暂且把它称为能产生臭氧的工具）当成臭氧产品的全部，把自己的鼻子当检测工具——能闻到臭氧味的就是臭氧产品。如果仅从嗅觉上检测，制作精良的臭氧发生器跟粗制滥造的臭氧发生器并无区别，但前者的价格比后者高很多，同时前者的使用效果、安全保障等是后者根本无法比拟的。
影响臭氧发生器的效果主要在于介电材质和内部设计，目前臭氧发生器的介电材质主要有陶瓷管、玻璃管、搪瓷管等，其中陶瓷管和玻璃管价格便宜，但是机械强度差，寿命短；搪瓷管为钛金纳米与瓷粙经高温烧结而成，可加工成精度很高的臭氧介电材料，对于浓度和纯度都有能很好的控制，而且寿命很长可达5万小时。
工业用途的臭氧发生器可能对臭氧量需要较大，浓度纯度等有特别要求，持续工作的时间较长，如大型臭氧发生器，则会以机组的形式，对气源的要求上也有较高要求，譬如采用氧气源而非空气源，以确保臭氧出口量和浓度。而民用臭氧发生器虽然臭氧出口量小得多，但是对臭氧浓度同样严格。
参考资料：正奥技术
臭氧发生器的组成：
臭氧发生器的全部装置主要由1台臭氧发生室、1套臭氧专用电源系统、1套操作控制系统、1套冷却装置和1套仪表管路阀门组成。
臭氧发生器流程图
一、 臭氧发生室
臭氧发生室是由单组或多组臭氧发生单元组成的装置，臭氧发生单元是产生臭氧的基本部件，由介电体与被其分隔的电极和放电空间组成。山东和创智云采用DBS玻璃介质臭氧发生单元技术。
臭氧发生单元采用DBS玻璃介质放电技术，包含有高压电极、接地电极及位于两个电极之间的玻璃介质管，接地电极和介质管之间形成间隙1，介质管外设有螺旋状支撑带，该间隙主要用于产生臭氧，且对气流具有旋导作用；介质管和高压电极之间形成间隙2，高压电极外设有金属辅助电极，该间隙主要用于冷却和辅助放电，并具有节流和旋气作用。这种结构可使臭氧发生单元的臭氧浓度、产量提高，电耗降低，稳定性增强。每个臭氧发生单元一般会有1-2根介质管穿入1根接地电极管，多个臭氧发生单元并联形成臭氧发生室。
臭氧发生器发生室
二、电源系统
电源系统是将输入的工频交流电源转化为中频高压交流电源的装置，主要包括整流电路、逆变电路、高压变压器以及控制装置等。整流逆变电路将工频交流电源转换成放电所要求的中频交流电源，经过高压变压器升压后输送到臭氧发生室，使臭氧发生室内形成高压电场。臭氧电源系统是我公司臭氧发生器的核心技术，具有较强的带负载能力。臭氧电源系统整套安装在电源柜内，电源柜体采用高档组合式机柜，安全、美观。
中型臭氧发生器
三、操作控制系统
为适应用户的不同需求，设备的操作控制方式有多种选择，包括基本型、标准型、标准自控型、通用PLC自控型等。
1、基本型：该类设备是采用通用电测表、按钮开关及指示灯、功率设定旋钮、现场仪表、手动阀门等来实现对设备运行状态的控制、显示和调节。
2、标准型：该类设备是在基本型的基础上，采用专用操作面板代替通用电测表、按钮开关及指示灯、功率设定旋钮来实现对设备电源装置的控制、显示和调节。
3、标准自控型：该类设备是采用在线式自控仪表、阀门等，通过专用操作系统和控制面板来实现对设备运行状态的控制、显示和调节，对设备实现全自动控制，使用户更方便地监控臭氧发生器。
4、通用PLC自控型：该类设备是在标准自控型的基础上，采用西门子等通用PLC系统代替专用操作系统和控制面板，来实现对设备的全自动控制。
小型臭氧发生器
四、冷却水系统
臭氧发生器采用水冷却，通过满足质量要求的足量的冷却水有效地带走放电时放出的热量。冷却水系统可根据客户现场的水源条件，选择使用业主自供合格冷却水、采用板式换热器形成闭路循环冷却水系统或采用冷水机组的冷却系统。
五、仪表管路阀门
臭氧发生器设置有流量、压力、温度等检测及调整用的仪表阀门等，以实现臭氧化气流量的调节。仪表阀门的设置以满足用户使用要求为准，为了适应不同的用户需求，仪表阀门的类型分为现场型和在线型，可根据需要实现设备手动控制或全自动控制，使用户更方便地监控臭氧发生器。
臭氧发生器通常所配的仪表、管路、阀门示意如下，
1、进气流程，手动开关阀-过滤器-减压阀-压力显示-流量检测-安全阀-开关阀，然后进入臭氧发生器；
2、出气流程，浓度检测-温度检测-压力检测-流量调节阀-手动开关阀，经过手动阀后进行成品臭氧气的运输或投加；
3、冷却水进出流程，流量检测-臭氧发生室-温度检测-出水。
2、电解式臭氧发生器原理：利用水的电化学氧化法生成臭氧。含有水化荧光阴离子电解质的水中，在近似室温下以高电流功率可将水氧化成臭氧。