测量表面粗糙度可以用时下热门的纳米级测量仪器-光学3D表面轮廓仪、激光共聚焦显微镜。
1、光学3D表面轮廓仪（光学，非接触式）
光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术原理，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
中图光学3D表面轮廓仪
2、激光共聚焦显微镜（光学，非接触式）
激光共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法共同组成测量系统，能用于各种精密器件及材料表面的非接触式微纳米测量。能测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。
激光共聚焦显微镜
表面粗糙度是指加工表面具有的微观不规则形状特征，具体表现为工件表面的峰谷高度差异和间距的微小不平度。这种微观几何形状误差的波距通常小于1毫米，影响着工件的耐磨性、耐腐蚀性、疲劳强度、密封性能、接触刚度以及外观质量等。表面越光滑，即表面粗糙度越小，其性能表现往往越好。
测量表面粗糙度的方法主要包括以下几种：
触针法（也称针描法）：是最常用的测量方法，通过表面粗糙度仪上的金刚石触针沿工件表面移动，触针根据表面起伏而发生垂直方向的微小位移，位移的变化转化为电信号，通过电子电路处理后得到粗糙度参数，如Ra、Rz等。
光学干涉法：非接触式的测量方法，利用白光干涉仪或激光干涉仪，通过分析反射光或透射光形成的干涉条纹来精确测定表面形貌，适用于超精密表面的测量。
电容法：利用改变的电容值间接测量表面粗糙度，适用于软金属或非导电材料的表面。
激光扫描法：通过激光扫描表面，利用光电转换元件接收反射信号，转化成表面轮廓信息。
图像分析法：借助显微镜拍摄工件表面图像，然后通过图像处理软件对图像进行分析，提取粗糙度参数。
每种方法都有其适用范围和精度特点，选择合适的测量方法要根据待测表面的具体情况和测量精度要求来确定。