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射频电源工作时,其反射功率是不是越小越好
正常工作时,匹配器调节电容电感后是不是反射功率越小越好
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推荐答案 推荐于2018-03-08
是的。
反射功率是消耗在线材,匹配器上的能量。其值越大,电源效率越低,同时过大的反射功率会导致负载线与匹配器过热烧坏。
使用射频电源前要先调节好匹配器,让反射功率尽可能小,一般好的匹配器可把反射功率调到总功率2%以内,最好为0。
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答:
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求
射频电源
原理
答:
会产生
反射,
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电磁波频率越大
,反射
性
是不是越好
?穿透性是不是越好?这不矛盾吗?
答:
反射
性
越好
指的是电磁波照射到导体上。穿透性越好指的是电磁波照射到电介质上。
射频电源反射功率
过大怎么办
答:
或更换
射频
同轴电缆和接头检查是否坏损;2、其次初次使用可能是等离子体腔体的阻抗不在射频自动匹配器的阻抗范围内,可以先将射频自动匹配器的工作模式设定为手动匹配模式进行匹配,如果还是有同样的问题建议联系商家;3、最后匹配器故障,请联系商家。
射频
离子源不起辉怎么办
答:
检查
射频电源是否
输出正常,入射功率和
反射功率
比较。如果入射正常,反射很大,检查匹配器
是否工作
? 如果入射功率不能达到设定功率,过小,检查射频电源是否烧毁。若射频电源和匹配都
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将气体流量加大,中和器打开,再测。
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