0.5um的位移怎么测

如题所述

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第1个回答 2022-11-23

1、金属应变计可以实现对微小（应变）位移的测量。
2、采用编码器式位移传感器，可以测量轴的旋转角度位置变化，旋转速度变化或直线位置变化等信息的测量，精度较高。
3、霍尔式位移传感器分辨率可以达到1um。在实验室用激光干涉仪来测量。

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