四氟化碳(Carbon tetrafluoride),分子式是CF4,亦称全氟化碳 中文名称:四氟化碳
中文别名:四氟甲烷
英文名称:carbon tetrafluoride
英文别名:Tetrafluoromethane
CAS:75-73-0
EINECS:200-896-5
分子式:CF4
分子量:88
物化性质:- 熔点:-184℃
相对密度：1.603
溶解性:不溶于水
用途:用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂 熔点-183.6℃，
沸点-128.1℃，
液体密度（-128℃）1.603g/cm3，
液体折光率（-173℃）1.515，
固体转变点72.2K，
临界温度-45.67℃，
临界压力3.73MPa，
临界密度7.1dm3/mol，
临界压缩因子：0.279
van der Waals面积（cm·mol）：4.600×10
an der Waals体积（cm·mol）：27.330
Lennard-Jones参数（A）：4.5306
Lennard-Jones参数（K）：158.90
气相标准熵(J·mol·K) ：261.40
气相标准热熔(J·mol·K)：61.05
标准摩尔生成焓-932.31 kJ/mol，
标准摩尔生成熵261.04J/（mol﹒K），
标准摩尔自由能-929.84 kJ/mol，
标准摩尔生成自由能-887.41 kJ/mol。
市场价格：
约260元/千克 1.由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。
2.预先称取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉，置于镍盘中，使硅和碳化硅充分接触后，将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中，向反应管内通入氟气，氟气先和单质硅反应，反应放热后，氟开始和碳化硅进行反应，通入等体积的干燥氮气以稀释氟气，使反应继续进行，生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝，然后慢慢地气化后，将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅，随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。
3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中，缓缓通入高浓氟气，并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘，碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去O2、N2、H2，得到高纯CF4。
