入射电子射向物质时，会多次受到物质中多个电子或原子核的散射（即多次散射），从而使得入射电子在遭到多次碰撞以后，其在各个方向上的散射机率趋于一致。由于散射截面与原子序数的平方成正比，因而对于轻元素，其散射的机率要小于重元素。
基本介绍
中文名 ：多重散射 别称 ：多次散射 作用 ：散射的机率要小于重元素 原理 ：散射截面与原子序数的平方成正比
晶体原子对能量低于500eV的电子具有很大的散射截面,这是低能电子的 一个重要特点.低能入射电子在经受弹性或非弹性散射之前,贯穿深度是不可能很深的.背散射电子中绝大部分是被表面或表面附近的原子散射回来的.这就使低能电子衍射成为研究表面结构的一种重要手段.但是正由于晶体原子对低能电子散射的截面很大,使得电子在离开晶体前经受多于一次散射的几率很大,我们称这种现象为电子的多重散射.由于多重散射使得低能电子衍射在结构分析中变得相当复杂,至今还不能唯一地根据低能电子衍射数据来确定晶体表面的原子排列. 多重散射能谱图 低能离子散射在确定表面结构,也就是在原子尺度范围内确定被吸附原子的彼此相对位置时,也是一种重要的工具,在低能离子散射中,也有个多重散射的问题,人们可以通过多重散射的测量,也就是测量那些与多于一个表面原子发生相互作用的反射离子来获得有关表面的一些信息.如图表示一组从Cu(410)表面散射的K离子能谱,在所有能谱中,均可观察到三个峰值,左边的峰是由靶表面反冲出来的铜离子引起的,中间的峰是由钾离子在铜原子上散射引起的,高能峰是由钾离子的多重散射引起的.