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台阶仪测试薄膜厚度原理
薄层
厚度
指的是什么?
答:
金属膜和多晶硅膜等。为适应各种成分和结构的薄层的
测厚
要求,已研制成各种测量设备。例如,采用比色法、干涉条纹法以及椭偏术等测量各种透明
薄膜
,采用磨角染色法、层错法、红外光反射法以及背散射技术等检验外延层
厚度
、扩散层和离子注入层的深度采用间接干涉法和
台阶仪
等测量金属膜和多晶硅的厚度等。
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